晶圓片平整度檢測
客戶痛點(diǎn)與需求
晶圓片的平整度不足會導(dǎo)致封裝過程的熱應(yīng)力發(fā)生變化，影響芯片的正常使用，因此對晶圓片表面光潔度的要求都非常高。采用深視智能高精度位移傳感器SG5000系列，支持鏡面反射型安裝，可在晶圓片上多點(diǎn)取值判斷平整度。
優(yōu)勢&特點(diǎn)
01SG系列最高采樣頻率可達(dá)590kHz
02靜態(tài)重復(fù)精度可達(dá)0.02μm
03光亮自動調(diào)節(jié)，適用各種檢測環(huán)境